Ny fanaraha-maso ny haratsian'ny velarana, ny haavon'ny dingana ary ny hatevin'ny sarimihetsika manify amin'ny wafer semiconductor, ny family optika mazava tsara ary ny singa voarakotra dia mamaritra mivantana ny vokatra azo avy amin'ny famokarana. Mora mikiky santionany marefo ny fitiliana probe fifandraisana nentim-paharazana, raha toa kosa ka tsy afaka manome fahamarinan-toerana mitovy amin'ny nano ny fitaovana fandrefesana optika mahazatra. Ahoana no fomba hahazoana fitsapana tsy manimba, fahamarinan-toerana avo lenta amin'ny nano ary fanaraha-maso famokarana faobe avo lenta miaraka amin'izay?
Ny interferometer hazavana fotsy indostrialy vaovaon'ny OE momba ny halavan'ny onjam-peo dia manana fomba fandrefesana interferometria roa. Miaraka amin'ny fitadiavana tsy misy fifandraisana, dia mandrakotra ny fizotran'ny asa manontolo manomboka amin'ny fikarohana sy fampandrosoana any amin'ny laboratoara ka hatramin'ny fanaraha-maso ny famokarana an-tserasera.
Fomba Interferometria Dual Core ho an'ny Topografia Ety Ambony Rehetra
Tsy tahaka ny fitaovana fandrefesana fomba tokana, ity rafitra ity dia mampiditra ny algorithm VSI (Vertical Scanning Interferometry) sy PSI (Phase-Shifting Interferometry), izay mahafeno ny fepetra takiana amin'ny fandrefesana fototra roa amin'ny milina iray.
| Zavatra fampitahana | VSI / CSI | PSI |
|---|---|---|
| Ireo velarana azo ampiharina lehibe | Ety ivelany mikitoantoana, tohatra, topografia tsy mitohy & sarotra | Velarana tena malama, mitohy ary fitaratra |
| Fandrefesana ny Haavo Mitsangana | Malalaka ny halavirana; afaka mandrefy lavaka lalina sy tohatra avo | Tery ny elanelana; tsy mety amin'ny tohatra lehibe mitokana |
| Famahanana mitsangana | Haavo nanometra; azo tratrarina amin'ny alàlan'ny algorithm nohatsaraina ny sub-nanometer | Famaha avo indrindra; famerimberenana hatrany amin'ny ambaratonga sub-nanometer na sub-angstrom aza |
| Fandeferana amin'ny hamafin'ny ety ambonin'ny tany | Avo | IVA |
| Fisafotofotoana amin'ny dingana | Saika tsy misy; azo ampiasaina ny vokatra azo avy amin'ny haavon'ny tena izy | Mety hisy hadisoana amin'ny famonosana dingana 2π |
| Fandrefesana ny hafainganam-pandeha | Mila scan axial, somary miadana | Amin'ny ankapobeny dia haingana kokoa |
| Fanoherana ny hovitrovitra | Mora voan'ny hovitrovitra mandritra ny scanning | Fiovan'ny dingana maro-frame, mora tohina kokoa amin'ny hovitrovitra |
| Fampiharana mahazatra | Fahasarotana, haavon'ny tohatra, rafitra bitika, velarana voahodina | Fitsapana ny haratsian'ny velarana, ny endriky ny velarana ary ny fisaka tsara dia tsara |
PSI (Phase-Shifting Interferometry): Manam-pahaizana manokana amin'ny endri-javatra bitika amin'ny ambaratonga nano sy sarimihetsika manify dia manify, manome vahaolana mikroskopika faratampony.
Fitaratra Mitsangana
Fitaratra miolikolika (fitaratra mibontsina)
Santionan'ny lamina fotolitografika
VSI Vertical Scanning Interferometry: Nohatsaraina ho an'ny workpieces misy fiovaovan'ny haavo lehibe sy tohatra lava; azo ampiasaina ny fandrefesana feno tsy misy scan segmented.
Filaharana boribory bitika amin'ny wafers nofonosina mandroso
Firafitra boribory boribory boribory eo amin'ny wafers nofonosina mandroso
andiana microlens
Miaraka amin'ny loharano hazavana fotsy fohy-coherence 450–700 nm, dia afaka manakana tsara ny hazavana miparitaka avy amin'ny taratra maro izy ary manome fahombiazana matanjaka amin'ny fanoherana ny fitsabahana. Miaraka amin'ny sosona maro, ity singa optika manana taratra ambany ity dia afaka mamoaka famantarana fitsabahana miavaka sy marin-toerana, ka miteraka vokatra fandrefesana marina sy azo itokisana.
2. Famaritana Nano-Grade mitarika amin'ny indostria, angon-drakitra maharitra azo arahina ary azo antoka
-Mampiasa loharanon-jiro fotsy LED miaraka amin'ny halavan'ny onjam-peo afovoany 550 nm ny rafitra, miaraka amin'ny masontsivana fampisehoana fototra ambony indrindra mifanaraka amin'ny fenitra premium manerantany.
-Famahanana mitsangana: <1 nm, hadisoana fandrefesana miverimberina: <10 nm, fahamarinan'ny nanometera marina
-Elanelana fandrefesana mitsangana ambony indrindra: 500 μm, tsy ilaina ny famindrana toerana miverimberina ho an'ny rafitra bitika avo-idina.
-Hafainganam-pandehan'ny scan: 100 μm/s, scan feno indray mandeha vita ao anatin'ny 10 segondra, mandanjalanja ny fahamarinan'ny sary sy ny fahafahan'ny fizahana.
Mifanaraka amin'ny fenitra NIST azo arahina, ny algorithm auto-calibration namboarina dia miantoka ny angon-drakitra azo arahina tsy tapaka, mahafeno ny fenitra QC henjana ho an'ny indostrian'ny semiconductor sy optika.
| zavatra | fikirana |
| Fandrefesana ny fahafaha-manao | Topografia 3D amin'ny velaran-tany, ny harafesin'ny velaran-tany, ny haavon'ny dingana ary ny hatevin'ny sarimihetsika amin'ny fitaovana taratra sy ny singa optika |
| Fomba Fanangonana Angon-drakitra | Interferometria Fijerena Mitsangana (VSI) + Interferometria Miova Dingana (PSI) |
| Rafitra fanamarinana | Fenitra azo arahina NIST + algorithm fanamarinana mandeha ho azy |
| Fandrefesana mitsangana | 500 μm |
| Sehatry ny Fijery | 20× tanjona: 0.87 × 0.65 mm |
| Fahombiazan'ny fakantsary | Famaha ambony indrindra: 2048×2448; Hafainganam-pandehan'ny sary: 74 FPS; Halalin'ny Bit: 12 bit |
| Hafainganam-pandehan'ny scan | 100 μm/s (Fomba Fahitsiana) |
| Safidy amin'ny lantihy tanjona | Tanjona fampitomboana 20x / 50x azo amboarina |
| Famolavolana fametrahana | Sehatra fanalana hovitrovitra mavitrika tafiditra ao anatiny, azo apetraka mitsivalana sy mitsangana |
| Refy ankapobeny (L×W×H) | 120 × 80 × 65 sm |
| Lanja afa-karatsaka | ≤58 kilao |
3. Endrika Kabinetra Mitambatra Indostrialy, Mifanaraka amin'ny Lab & Tsipika Famokarana
Natao ho an'ny atrikasa famokarana faobe sy laboratoara fikarohana siantifika miaraka amin'ny fifanarahana fametrahana azo ovaina.
Sehatra fanalana hovitrovitra mavitrika tafiditra ao anatiny: Fandrefesana azo antoka eo ambanin'ny hovitrovitra avy amin'ny orinasa, tsy mila latabatra fanalana hovitrovitra fanampiny.
Rafitra fametrahana roa sosona: Fametrahana mitsivalana na mitsangana, fampidirana mora amin'ny tsipika famokarana mandeha ho azy sy toeram-piasana laboratoara.
Vatana kely azo entina miaraka amin'ny fitaovana iray: refy kely 120×80×65 sm, lanja ≤58 kg, mora apetraka eo an-toerana.
Ny rafitra feno dia mampiditra ny loharanon-jiro, ny singa fototra interferometer ary ny môdio fanaraha-maso. Azo ampiasaina avy hatrany rehefa avy novahana, tsy mila fanitsiana sarotra ny lalan'ny optika.
Fampiasana mivelatra ho an'ny famokarana avo lenta
Indostrian'ny Semiconductor: Topografia 3D & fanaraha-maso ny haavon'ny tohatra amin'ny wafer silikônina sy ny puce micro-nano.
Optika mazava tsara: Fitsapana ny hamafin'ny sarimihetsika sy ny hatevin'ny sarimihetsika ho an'ny lantihy optika, tanjona ary singa optika voarakotra.
Fandrakofana miasa vaovao: Famakafakana ny mombamomba ny ety ivelany sy ny hatevin'ny fandrakofana taratra & sarimihetsika manify miasa.
Laboratoara Fikarohana Siantifika: Famaritana ny firafitry ny micro-nanô sy ny fitsapana ny fahamarinan'ny endriky ny singa.
Manana traikefa matihanina an-taonany maro amin'ny fikarohana sy fampandrosoana optika, ny Wavelength OE dia mamolavola tsy miankina ny lalan'ny optika fototra rehetra sy ny algorithm fandrefesana ho an'ny interferometer hazavana fotsy. Fanaraha-maso ara-teknika feno manomboka amin'ny loharanon-jiro, ny family objective ka hatramin'ny rafitra fanamarinana. Ny singa tsirairay dia mandalo fanamarinana mazava tsara alohan'ny fanaterana. Manome fanohanana ara-teknika feno aorian'ny fivarotana izahay ary manamboatra vahaolana fandrefesana manokana mifototra amin'ny haben'ny workpiece an'ny mpanjifa sy ny fepetra takian'ny tsipika famokarana mandeha ho azy.
Fotoana fandefasana: 15 Jolay 2026